Vakuumsysteme können durch Leckagen und Materialien mit hoher Ausgasungsrate negativ beeinflusst werden. Schmiermittel und andere Materialien sollten mit diesen Aspekten im Hinterkopf ausgewählt werden, um eine gute Leistung des Vakuumsystems zu ermöglichen. Vakuumpumpen ähneln insofern Kompressoren, als dass sie eine mechanische Vorrichtung zum Bewegen eines Gasstroms sind; im Falle von Vakuumpumpen sind sie jedoch so ausgelegt, dass sie einen Unterdruck erzeugen.

Eine zusätzliche Schwierigkeit besteht darin, dass die Aufnahme von Verunreinigungen aus dem Prozessstrom die Qualität des Schmiermittels negativ beeinflussen kann, wodurch sich das Schmiermittel schnell verschlechtert. Die Verunreinigungen können auch dazu führen, dass die dem Gasstrom ausgesetzten internen Komponenten der Vakuumpumpe beschädigt werden. Es ist die Aufgabe eines Qualitätsschmiermittels mit der richtigen Viskosität, dem Gasstrom standzuhalten und auch die internen Komponenten zu schützen, um die langfristige Zuverlässigkeit der Vakuumpumpe zu maximieren.